http://www.overclockers.ru/hardnews/53498/Uchenye_iz_SShA_predlozhili_mnogoslojnyj_dizajn_tranzistora.html
Погугли, можно много статей найти, где говорят про предел кремния и поиск его альтернативы
7нм и менее - это на столько малые размеры, это почти атомы. И проблема в том, что проходящее электричество будет сильно деградировать кремний со столько малыми транзисторами. Электрический ток заставляет электроны двигаться, атомы двигаться и при столь малых размерах транзистора - транзисторы будут разрушаться.